نظام التنظيف لوحدة الكاميرا
مقدمة المعدات:
من خلال مناور متعدد المحاور عالي الدقة ، يتم إخراج آلة التنظيف ذات السائلين من المجلة ووضعها في غرفة التنظيف بنظافة عالية. من خلال التعاون المزدوج بين اثنين من رشاشات السوائل لأعلى ولأسفل والجفاف بالطرد المركزي عالي السرعة ، تم الانتهاء من عملية تنظيف الغبار على سطح المنتج.
تطبيق المعدات والصناعة:
إنها قابلة للتطبيق على عملية تنظيف الغبار السطحي للرقاقة ، والزجاج البصري ، و VCM ، و LENS ، في عملية وحدة الكاميرا CCM.
|
Applicable stencil size
|
1050mm(L)×900mm(W)×1900mm(H)
|
|
Cleaning method
|
Two fluid cleaning
|
|
Drying method
|
High speed centrifugation
|
|
Transmission horsepower
|
3HP
|
|
Cleaning pressure
|
Liquid pressure: 3-8Kgf/cm2 Air pressure: 0.2-0.5Mpa
|
|
DI water supply
|
Flow rate: >7LPM Resistivity: >17MΩ
|
|
Gas supply
|
Pressure: 0.45-0.7Mpa; flow rate: >30m3/H (cleanliness meets cleaning requirements)
|
|
Pure water inlet path
|
Ø12mm hose or PT1/2" internal thread
|
|
Exhaust port diameter
|
~4′′×2 (need to enhance ventilation, wind speed is greater than 3m/sec)
|
|
Machine net weight
|
About 450KG
|
( 0 )سلة الاستفسارات 
مسح لزيارة
